溅射靶材主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等；亦可应用于玻璃镀膜领域；还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。
分类 根据形状可分为长靶，方靶，圆靶，异型靶 根据成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材 根据应用不同又分为半导体关联陶瓷靶材、记录介质陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、超导陶瓷靶材和巨磁电阻陶瓷靶材等 根据应用领域分为微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、封装靶材、其他靶材 磁控溅射原理：在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场，在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气)，永久磁铁在靶材料表面形成250～350高斯的磁场，同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下，Ar气电离成正离子和电子，靶上加有一定的负高压，从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大，在阴极附近形成高密度的等离子体，Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面，以很高的速度轰击靶面，使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。 磁控溅射一般分为二种：支流溅射和射频溅射，其中支流溅射设备原理简单，在溅射金属时，其速率也快。而射频溅射的使用范围更为广泛，除可溅射导电材料外，也可溅射非导电的材料，同时还司进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射频的频率提高后就成为微波等离子体溅射，常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射。
磁控溅射镀膜靶材：
金属溅射镀膜靶材，合金溅射镀膜靶材，陶瓷溅射镀膜靶材，硼化物陶瓷溅射靶材，碳化物陶瓷溅射靶材，氟化物陶瓷溅射靶材 ，氮化物陶瓷溅射靶材 ，氧化物陶瓷靶材，硒化物陶瓷溅射靶材 ，硅化物陶瓷溅射靶材 ，硫化物陶瓷溅射靶材 ，碲化物陶瓷溅射靶材 ，其他陶瓷靶材，掺铬一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO)，磷化铟靶材(InP)，砷化铅靶材(PbAs)，砷化铟靶材(InAs)。
高纯高密度溅射靶材有：
溅射靶材（纯度：99.9%-99.999%）
1. 金属靶材：
镍靶、Ni、钛靶、Ti、锌靶、Zn、铬靶、Cr、镁靶、Mg、铌靶、Nb、锡靶、Sn、铝靶、Al、铟靶、In、铁靶、Fe、锆铝靶、ZrAl、钛铝靶、TiAl、锆靶、Zr、铝硅靶、AlSi、硅靶、Si、铜靶Cu、钽靶T、a、锗靶、Ge、银靶、Ag、钴靶、Co、金靶、Au、钆靶、Gd、镧靶、La、钇靶、Y、铈靶、Ce、钨靶、w、不锈钢靶、镍铬靶、NiCr、铪靶、Hf、钼靶、Mo、铁镍靶、FeNi、钨靶、W等金属溅射靶材。
2. 陶瓷靶材
ITO靶、AZO靶、氧化镁靶、氧化铁靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶，、二氧化铪靶，二硼化钛靶，二硼化锆靶，三氧化钨靶，三氧化二铝靶五氧化二钽，五氧化二铌靶、氟化镁靶、氟化钇靶、硒化锌靶、氮化铝靶，氮化硅靶，氮化硼靶，氮化钛靶，碳化硅靶，铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶等陶瓷溅射靶材。
3.合金靶材
镍铬合金靶、镍钒合金靶、铝硅合金靶、镍铜合金靶、钛铝合金、镍钒合金靶、硼铁合金靶、硅铁合金靶等高纯度合金溅射靶材。
1. 显示技术：溅射靶材用于生产薄膜晶体管（TFT）、有机发光二极管（OLED）以及液晶显示（LCD）等显示器件的各种导电、半导体和绝缘薄膜。
2. 微电子：在集成电路制造、半导体器件和微纳电子领域，溅射靶材用于制备金属互连、层间绝缘膜和保护膜等。
3. 数据存储：溅射靶材在磁性数据存储设备（如硬盘驱动器）和光存储设备（如CD、DVD）的制造中，用于制备磁性薄膜、反射膜和保护膜等。
4. 太阳能电池：溅射靶材在薄膜太阳能电池（如CIGS、CdTe、非晶硅等）的生产中，用于制备各种吸光层、透明导电氧化物（TCO）薄膜和背反射层等。
5. 光学薄膜：溅射靶材用于制备抗反射膜、增透膜、偏振膜、滤光片等光学薄膜，应用于光学元件、眼镜、摄像头、激光器等。
6. 装饰镀膜：溅射靶材在装饰镀膜领域用于制备金属镀层、合金镀层和复合镀层等，用于提高产品的美观性、耐磨性和耐腐蚀性。
7. 硬膜和工具涂层：溅射靶材用于制备硬质薄膜和工具涂层，应用于刀具、模具、齿轮等，提高其耐磨性、抗磨损和延长使用寿命。
8. 汽车和建筑玻璃镀膜：溅射靶材用于制备低辐射（Low-E）薄膜和导热薄膜等，应用于汽车和建筑玻璃，以提高隔热性能和节能效果。
9. 生物医学：溅射靶材在生物医学领域用于制备生物兼容薄膜、抗菌膜和传感器薄膜等，应用于医疗器械、生物传感器和植入式器件等。
10. 航空航天：溅射靶材用于制备航空航天器件的保护膜、导热膜和特种功能膜等，提高器件的性能和耐用性。
11. 环保和能源：溅射靶材在空气净化、水处理和燃料电池等领域，用于制备催化剂膜、过滤膜和导电膜等。
12. 耐磨膜和防护膜：溅射靶材在运动器材、电子产品、家具等领域，用于制备耐磨膜和防护膜，提高产品的耐磨性、防刮性和耐腐蚀性。
13. 通信技术：溅射靶材在通信技术领域用于制备射频（RF）薄膜、微波薄膜和光纤膜等，提高通信设备的性能和稳定性。本回答被网友采纳