靶材是什么材料

Question

如题所述

Answer 1

靶材是制备薄膜的主要材料之一。

利用高速荷能粒子轰击目标材料，与不同的激光（离子束）和不同的靶相互作用，获得不同的膜系，实现传导和阻隔功能。

因此，靶材也被称为“溅射靶材”。

离子源产生的离子在真空中加速并聚集，形成高速能量离子束，它轰击固体表面，离子与固体表面上的原子发生动能交换，使固体表面上的原子离开固体，沉积在衬底表面。被轰击的固体是溅射靶。主要应用于集成电路、平板显示器、太阳能电池、记录介质、智能玻璃等，对材料纯度和稳定性要求较高。

江西国材科技-磁控溅射靶材

Answer 2

靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。
靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。
靶材用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。