磁控溅射靶材现在在向什么方向发展？

Question

溅射靶材的技术发展趋势与下游应用领域的技术革新息息相关，现在在向什么方向发展？

Answer 1

尽管我的知识截止于2021年9月，但我可以总结一些溅射靶材技术发展的趋势。溅射靶材的技术发展和下游应用领域的技术革新紧密相关。在过去几年中，溅射靶材的发展趋势主要集中在以下几个方向：
1. 高性能材料：随着科学技术的进步，对高性能、高质量的薄膜材料的需求不断增加。因此，研究和开发具有更高纯度、更稳定结构和更优异性能的溅射靶材成为了一个重要趋势。
2. 新型透明导电材料：在显示器、太阳能电池和智能窗等领域，透明导电薄膜具有广泛的应用。因此，开发新型透明导电材料，如AZO（氧化锌铝）、IGZO（氧化铟镓锌）等，以替代传统的ITO（氧化铟锡）薄膜成为了一个研究热点。
3. 薄膜太阳能电池：随着可再生能源需求的不断增长，薄膜太阳能电池技术得到了广泛关注。新型薄膜太阳能电池，如CIGS（铜铟镓硒）、CZTS（硫化铜锌锡）等，需要使用特定的溅射靶材以获得高性能。
4. 环保和节能：随着对环境保护和节能的重视，溅射靶材研究和生产过程中的环保和节能技术得到了越来越多的关注。这包括降低溅射过程中的能耗、减少废料和有害物质的排放等。
5. 定制化和个性化：随着下游应用领域的多样化，对溅射靶材的定制化和个性化需求不断增加。未来，生产商需要提供更加灵活、多样化的溅射靶材解决方案，以满足不同应用领域的需求。

Answer 2

溅射靶材向大尺寸、高纯度化发展
高纯金属溅射靶材主要应用在晶圆制造和先进封装过程,以芯片制造为例,我们可以看到从一个硅片变成一个芯片需要经历7大生产过程,分别是扩散(ThermalProcess),光刻(Photo-lithography),刻蚀(Etch)、离子注入(IonImplant),薄膜生长(DielectricDeposition)、化学机械抛光(CMP),金属化(Metalization),每个环节需要用到的设备,材料和工艺一一对应.溅射靶材就是被用在"金属化"的过程中,通过薄膜沉积设备使用高能的粒子轰击靶材然后在硅片上形成特定功能的金属层,例如导电层,阻挡层等.
溅射靶材的技术发展趋势与下游应用领域的技术革新息息相关,随着应用市场在薄膜产品或元件上的技术进步,溅射靶材也需要随之变化.
在下游应用领域中,半导体产业对溅射靶材和溅射薄膜的品质要求最高,随着更大尺寸的硅晶圆片制造出来,相应地要求溅射靶材也朝着大尺寸方向发展,同时也对溅射靶材的晶粒晶向控制提出了更高的要求.
溅射薄膜的纯度与溅射靶材的纯度密切相关,为了满足半导体更高精度、更细小微米工艺的需求,所需要的溅射靶材纯度不断攀升,甚至达到99.9999%(6N)纯度以上.
靶材作为重点鼓励发展的战略性新兴产业,并出台产业政策,"十三五"提出,到2020年重大关键材料自给率达到70%以上,初步实现我国从材料大国向材料强国的战略转变.目前我国企业在靶材领域已陆续取得突破,在现在的经济背景下,国产靶材必将取得长足发展.本回答被网友采纳