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溅射靶材是干什么用的
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推荐答案 2023-10-08
溅射靶材是安装在真空镀膜机上镀膜用的,可镀导电膜、缘膜、装饰膜、超硬膜、润滑膜、磁性膜等功能薄膜。靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关,随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进,靶材技术也应随之变化。在存储技术方面,溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等,也可应用于玻璃镀膜域,还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、装饰用品等行业。
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钼及钼合金
溅射靶材
在各个行业都有哪些应用?
答:
钼及钼合金溅射靶材已广泛应用于电子部件和电子产品中
,如薄膜半导体管–液晶显示器 (TFT–LCD)、等离子显示器、场发射显示器、触摸屏,还可用于太阳能电池的背电极、玻璃镀膜等领域.近年来,随着电子行业及太阳能电池的发展,钼及钼合金靶材作为高附加值电子材料的用量在逐年增加.作为钼行业新兴的高端产品,...
靶材的
简介
答:
靶材,也被称为溅射靶,
是一种在物理薄膜沉积过程中使用的材料
。它主要被用在溅射沉积(sputter deposition)中,这是一种常用的薄膜制备技术。溅射沉积是通过将粒子(通常是氩离子)加速撞击靶材,从而将靶材的原子或分子“溅射”出来,并沉积在衬底表面形成薄膜的过程。靶材通常是固态,并且是要制备薄膜的...
溅射
技术作为薄膜材料制备的主流工艺,都应用在哪些领域?
答:
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溅射靶材的
金属材料纯度、内部微观结构等方面都设定了极其苛刻的标准,需要掌握生产过程中的关键技术并经过长期实践才能制成符合工艺要求的产品,因此,半导体芯片对溅射靶材的要求是最高的,价格也最为昂贵;相较于半导体芯片,平面显示器、太阳能电池对于溅射靶材的纯度和技术要求...
溅射靶材的
主要应用
答:
溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等
;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。分类 根据形状可分为长靶,方靶,圆靶,异型靶 根据成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材 根据应用不同又分...
高端
溅射靶材是什么
意思
答:
高端
溅射靶材是
指一种高纯度、高可靠性、高成分均匀性、高表面平整度的材料,多用于高科技领域的薄膜制备工艺中。现代薄膜材料制备技术的发展,为高端溅射靶材的制备提供了良好的前景和市场。高端溅射靶材的制备过程一般采用真空下的热压法或者气相沉积法,生产工艺呈自动化和连续化。目前,高纯度金属和合金...
溅射和
溅射靶材的
区别和用途
答:
溅射(Sputtering)是一种物理气相沉积(PVD)的方法,用于制备薄膜。在溅射过程中,一个被称为“靶材”(Target)的固体材料被离子轰击,从而将靶材的原子或分子“溅射”出来,这些溅射出来的原子或分子随后在基材(如硅片、玻璃片等)上凝结形成薄膜。
靶材是溅射
过程中的关键材料,其材料种类、纯度、结构...
溅射靶材的
介绍
答:
氧化物)含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等等。磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式,就
是用
电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的材料上,使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成膜。这种被镀的材料就叫
溅射靶材
。 溅射靶材有金属,合金,陶瓷,硼化物等。
...靶材分为金属合金靶和陶瓷靶,那像一些金属氧化物的
靶材为什么
...
答:
在磁控
溅射
中,
靶材的
分类不是根据其材料的类型,而是根据其物理结构和性质。金属合金靶材通常具有晶粒较大、密度较高、结构紧密等特点,适用于制备多种金属薄膜。陶瓷靶材则具有晶粒细小、密度相对较低、化学稳定性好等特点,适用于制备一些氧化物、氮化物等复杂材料的薄膜。可以说,金属氧化物靶材实际上是...
离子镀
溅射靶材
有
什么
优缺点吗?
答:
离子镀,也称为离子束
溅射
,是一种在溅射沉积过程中引入离子源以增强沉积效果的技术。在离子镀溅射过程中,
靶材
被溅射离子撞击,从而使原子或分子脱离靶材并沉积在所需的基片表面上。优点:1. 更高的膜层密度:使用离子镀可以进一步提高沉积的薄膜密度,因为离子束可以帮助重新整理被沉积原子的位置,使其...
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