藏传佛教格鲁派祖师宗喀巴的弟子释迦耶希曾到五台山巡礼弘法，入京后受到明成祖的盛情接待，并封他为大国师，赐金印、经像、金银器等物。之后释迦耶希往五台山，朱棣又几次致书慰问。
后来，明英宗朱见深敕造《大藏经》送往五台山普恩寺，送五台顶供养，又敕谕护持显通寺。朱见深遣人送镀金文殊像一尊、画幅百轴、香金5000两、布帛1000匹、念珠万串等给五台山文殊寺，并制书盛赞圣地，下令敕修文殊寺。
至明武宗朱厚照时期，下令敕建了铜瓦殿，赐额广宗寺，又敕梵僧于中台顶建寺，铸铁为瓦，赐额演教，敕旨护持。
在此期间，藏传佛教格鲁派在五台山得到了迅速的发展。永乐年间，藏传佛教格鲁派高僧哈立麻在五台山居住一年，藏传佛教格鲁派祖师宗喀巴之弟子释迦耶希先后在五台山居住4年，使藏传佛教格鲁派在五台山兴盛起来。
1573年至1620年间，五台山的佛教兴盛繁荣起来。明神宗朱翊钧为母祈福，重修了大白塔，并下令敕造《大藏经》两藏送往五台山。
派遣大使在五顶和狮子窝设弘福万寿报国佑民吉祥大斋，又先后几次送《大藏经》，于狮子窝与五台顶安置。并在五台山设龙会，赐全山僧人锡杖和衣钵1200副，其母李太后也舍钱于五台山修建寺院。
一时间，五台山的寺院剧增，全山达104座，僧侣众多，佛事兴盛。宗派以禅宗和藏传佛教最为兴盛，而华严、律宗、净土其他宗派也都有所发展。
明英宗天顺年间，建造了普济寺，因地处北台叶斗峰之下，所以也叫做北山寺，寺周“群峰凝碧”，因而又称碧山寺，后来更名为“碧山十方普济禅寺”。
碧山寺坐北朝南，背山面水，是一座香火缭绕的古老寺院。碧山寺居高临下，亭台楼阁，星罗棋布，被两丈多高苍翠葱郁的白杨树包围着。
淙淙泉水，清脆可闻。沐浴在阳光之下的幢幢殿宇，掩映在水光山影之间，雄伟壮观。庙门前高悬横匾额一方，上书“护国碧山十万普济寺”几个鎏金大字，两侧是木制的对联，红底黑字，笔力遒劲，异常醒目。古人曾在诗中写道：
落日碧山寺，萧然古涧边。白云生翠崦，明月下寒泉。
凡是出家的僧尼和居士信徒到了碧山寺，一律免费食宿，任何人无权逐客。启程时如果缺少路费，寺中还得周济盘缠。碧山寺这种广济十方僧人的做法，被人们所乐道和赞赏，因此人们也称碧山寺为“广济茅蓬”，茅蓬是寺院的谦称。清朝以后，历朝君主，无论本人信佛与否，都相继不断地奉行着尊崇佛教的政策。至康熙、雍正、乾隆三朝，尊崇佛教，尤尊藏传佛教，已经成为一项基本的国策。