唯, 读 wéi，是形声字。《说文·口部》“唯,诺也。从口，隹声。”本义为恭敬的应答声，表示应允，如“唯唯诺诺”。惟, 读 wéi,也是形声字。
唯，假借为范围副词, 读 wéi, 用来限定事物或动作的范围，相当于“只”“只有”。如“唯独”“唯恐”“唯利是图”“唯命是从”“唯命是听”“唯我独尊” “唯一”“唯有”等。此义也可用“惟”，以上词语中的“唯”均可用“惟”。
例如：“这篇一发表，我的剪存材料，可以废去不少，唯有一篇，不忍听其湮没……”(《鲁迅全集》第 4 卷，第 504 页)“我们的劳苦大众历来只被最剧烈的压迫和榨取，连识字教育的布施也得不到，惟有默默地身受着宰割和灭亡。”(《鲁迅全集》第 4卷，第 221 页) 但是，在此义上，与“唯物”“唯心”相关的词语只能用“唯”，如“唯物论”“唯心主义”“唯心史观”“唯物辩证法”等。这是因为它们作为表示哲学概念并曾高度政治化的强势词语，长期高频度使用，其词形、语形早已在社会语用中定型。
唯、惟，又假借为语气助词,表示肯定、强调，也可起调整音节的作用。如“唯其”“人心唯危”，也写作“惟其”“人心惟危”。惟妙惟肖，最初写作“维妙维肖”。“维妙维肖”的“维”，是语气助词，用法与“唯其”的“唯”近同。
例如，清代冯镇峦《读<聊斋>杂说》：“《聊斋》中间用字法，不过一二字，偶露句中，遂已绝妙，形容维妙维肖，仿佛《水经注》造语。”维妙维肖，后来也写作“惟妙惟肖”“唯妙唯肖”，这是因为“维”“惟”“唯”在语气助词这一用法上往往可通用。