光的干涉检查平整度,怎样判断凹凸

如题所述

从干涉条纹判断。利用光的干涉现象可高精度地检查物体表面的平整程度。如果被检查平面是光滑的,得到的干涉图样必是等间距的。如果某处凹下去,则对应亮纹(或暗纹)提前出现;如果某处凸起来,则对应条纹延后出现。“提前”与“延后”不是指在时间上,而是指由左向右的位置顺序上。
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