洁净度的检测要符合什么规定？

Question

如题所述

Answer 1

SICOLAB整理洁净度的检测应符合下列规定：
1 使用采样量大于1L/min的光学粒子计数器，在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率。仪器应有有效的标定合格证书。
2 最少采样点数应按下式计算：

NL＝A0.5 

式中：NL——最少采样点；
A——洁净室或被控洁净区的面积(m2)。
3 采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内，并位于工作活动的高度，活动高度宜距地面0.8m；每个采样点的最小采样时间为1min。
4 每一采样点的每次采样量应至少为2L，采样量应按下式计算：

式中：VS——每个采样点的每次采样量，以L表示；当VS很大时，可使用顺序采样法；
Cn·m——被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(pc/m3)；
20——在规定被粒径粒子的空气洁净度等级限值时，可测到的粒子颗数(pc)。
5 当洁净室或洁净区仅有一个采样点时，则在该点应至少采样3次。