概述
RDJ-I正型光刻胶是液晶显示器用正性光刻胶,可同时适用于TN/STN/FTN LCD、VFD制作,具有高感度,高粘附性,高分辨率,良好的涂布性能等优点。RDJ-I正型光刻胶采用环保溶剂。RDJ-I正型光刻胶一般规格有30mpa.s,40mpa.s,50 mpa.s,使用时可根据需要稀释成不同固含量和粘度。
技术指标如下表:
颜色 砖红色
粘度(25℃,VT-04E/F) 20-50 mpa.s
基板 ITO玻璃(30Ω)
涂膜厚度 1.3—1.8um
前烤 100x90sec(热板)
曝光 60-100mj/cm2
显影 0.8% KOHx60sec
后烤 热板120℃×120sec
蚀刻 HNO3:HCl:H2O=4:23:73@40℃
剥离 4%NaOH@50℃×120sec
贮存期限(25℃以下暗处贮存) 6个月
操作工艺参数:
1.涂布:23℃,辊涂,膜厚1.1-1.8μm;
2.前烤:100℃x90sec(热板),烤道100℃3—5分钟;
3.曝光:90mj/cm2;
4.显影:23℃,0.4% NaOH,1min,喷淋或浸渍;
5.后烤:热板120℃×120sec,烤120℃,3-5分钟;
6.蚀刻:45℃,FeCl3/HCl或HNO3/ HCl;
7.剥离:23℃ 4-6% NaOH
我想问哈,如果要做的话大概都需要什么助剂,能否告知下名称