半导体核心材料—光刻胶概述

如题所述

在半导体产业的精密构建中,光刻胶扮演着至关重要的角色,它是八大核心材料之一,其价值和影响力不容忽视。根据SEMI的数据,光刻胶和辅助材料的总价值占比已达到半导体晶圆制造材料的12%,仅次于硅片、电子特气和光掩模,位居第四。本文将深入探讨光刻胶的定义、成分、分类、产业链以及其在半导体光刻工艺中的作用,以及当前市场的发展趋势和竞争格局。


1. 光刻胶:核心与构建


光刻胶,亦称光致抗蚀剂,是通过特定光源的照射引发化学反应的特殊薄膜材料。它的组成包括增感剂(决定感光度和分辨率的关键)、感光树脂(构筑结构的基础)、溶剂(保持液态)以及助剂(调节特定性质)。增感剂和感光树脂的性能直接影响光刻胶的性能表现。


2. 光刻胶世界分类


光刻胶根据应用领域分为半导体、LCD和PCB光刻胶,其中半导体光刻胶技术要求最高。我国在PCB光刻胶领域的国产化进展较快,而在半导体光刻胶,尤其是ArF和KrF光刻胶,与国际先进水平仍有一定差距。


3. 光刻胶产业链全景

从上游的原材料供应到中游的制造,产业链中日本、韩国和美国占据主导,我国在光刻胶设备制造方面处于初级阶段。而在下游的半导体和显示领域,光刻胶需求随着技术升级而增长,推动着行业的持续发展。


4. 半导体光刻工艺详解


光刻工艺经过多个精细步骤,如硅片预处理、涂布、曝光、显影等,光刻胶在其中起着图案转移的关键作用,占整个芯片制造成本的35%。光刻技术的进步对于缩小制程、提升性能至关重要。


5. 市场规模与增长趋势


随着半导体技术的不断推进,光刻胶市场持续增长。2021年全球市场规模预计同比增长11%,预计到2022年,我国光刻胶市场空间有望达到55亿元,ArF光刻胶占比将超过40%。


6. 竞争格局洞察


全球市场中,日本企业主导高端光刻胶市场,中国在光刻胶技术上仍面临挑战,尤其是半导体光刻胶的国产化率相对较低。国内企业如晶瑞股份、南大光电等正在努力推进ArF光刻胶的自主研发和产业化进程。

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