半导体制造行业如何提高产品良品率？过程控制有何好的方法？

Question

如题所述

Answer 1

这个问题我觉得吧，一方面通过工艺制成的改进，recipe的优化。另一方面，是靠TD或者PIE去改进整个制成的流程，及工艺选择。
过程控制，可以在生成过程中监控产品的质量，有利于及时发现问题，最大程度的降低生产的成本，不然等到一批wafer全部跑完才发现问题，损失肯定比在过程中发现来的严重。因为在生产过程中若发现问题还是机会去rework的，不过还是有可能会报废。
在fab厂里主要通过offline来monitor 机台及工艺的状况，以便及时调整工艺参数等。
这只是我个人一点理解，希望对你有帮助。