中科院微电子所与上海微电子所区别

如题所述

研究方向、隶属。
1、研究方向:中科院微电子所主要研究方向为集成电路设计、上海微电子所主要研究方向为MEMS方向,是国外新兴领域。
2、隶属:上海微电子所全称为中国科学院上海微系统与信息技术研究所,隶属于中科院微电子所。
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