电陶炉加热一会明一会暗

Question

如题所述

Answer 1

电陶炉时暗时亮，是因为发热盘受到热电偶的控制，自动降低输出功率，以确保晶板不被炸裂。这个时候会发现电陶炉的发热盘会明显暗下去，当面板表面温度降低一些，系统又自动会增加输出功率，这个时候发热盘又会明显的亮起来，电陶炉的工作流程都是这样的，都是这样一个来回往复的过程。