《古代汉语虚词词典》对于“唯”、“惟”的使用是这样描述的：“唯，可用作副词、连词、助词。先秦时已有用例，后一直沿用于文言中。现代汉语书面语也使用。”“惟，可用作副词、连词、助词。先秦已普遍使用，后一直沿用于文言中。”
那么是否意味着，在现代汉语中，“唯”完全取代了“惟”，二者在意义上没有任何差别了呢？
首先，我们来看《说文》对于二者地解释。
“唯，诺也。”
“惟，凡思也。”
在字的本意上，二者是有差别的“唯”表一种应答，“惟”表示思考。
然后，在《现代汉语大词典》中，对于二者是这样解释的：
“唯”（wéì）⑴独；仅；只有⑵以；因为⑶表示希望、祈请⑷听凭；任随⑸思；考虑⑹虽然；即使⑺语首助词。亦写作“唯”“维”
（wěì）⑴应答声⑵招呼声
“惟”(wéì)⑴思考；思念⑵有⑶为；是⑷听从；随从⑸愿；希望⑹副词，相当于“只有”⑺连词，也作“唯”“维”⑻介词，也作“唯”“维”，相当于“以；由于”⑼助词，也作“唯”“维”⑽水名。通“潍”⑾通“帷”⑿姓
(wěì)⑴专一⑵独一无二
仅看两字的第一项释义，读wéì时，“唯：独、仅”，“惟：思考”；读wěì时，“唯：应答声”，“惟：专一”。与《说文》差别不大。
再看《古代汉语虚词词典》对二者用法的列举。
词性
“唯”
“惟”
副词
1、 表示对事物或动作的范围加以限定。可译为“只”、“仅仅”等。
2、 用于对话中，表示听到或同意对方的谈话，也可叠用作“唯唯”。可译为“是”、“对”、“嗯”等。
1、用于谓语前，表示对事物或动作的范围加以限定，可译作“只”、“仅仅”等。
连词
1、 连接分句，表示假设和让步，相当于“虽”。可译为“即使”、“纵使”等。
2、 连接分句，表示动作、行为的原因、理由。可译为“由于”、“正因为”等。
1、 用于名词或名词性词组之间，表示并列关系。可以译为“和”、“与”等。
2、 连接分句，表示假设和让步，相当于“虽”。可译为“纵使”、“即使”等。
3、 表示动作、行为的原因、理由。可译为“由于”、“正因为”等，或随上下文义灵活译出。
助词
1、用在句首，意在引出话题，为立言行文开端。可不必译出。
1、 用在句首，意在引出话题，为立言行文开端。可不必译出。
2、 用在句首，引出时间、处所。可不必译出。
由表格中的对照我们可以看出：
作为副词时“惟”没有表示“应答”的意思。例如：
《易?乾》：“知进退存亡而不失其正者，其唯圣人乎。”（副词，独、仅）
《论语?述而》：“用之则行，舍之则藏，惟我与尔有是夫！”（副词，只有）
而在《论语?里仁》：“子曰：‘参乎！吾道一以贯之。’曾子曰：‘唯。’”中，就不可以用“惟”替代。在这个层面上，“唯”可以包含“惟”。
作为连词时“唯”可连接分句，“惟”在此基础上还可以连接名词。例如：
《荀子?性恶》：“然则唯禹不知仁义法正……”（连词，虽然、即使）
《史记?淮阴侯列传》：“（韩）信再拜贺曰：‘惟信亦以为大王弗如也。’”（连词，即使）
《老子?第二章》：“夫唯不居，是以不去。”（连词，由于）
《左传?哀公元年》：“阖庐惟能用其民，以败我于柏举。”（连词，由于）
而在《尚书?禹贡》：“齿革羽毛惟木。”中，“惟”表示“和、与”。这里，就不能用“唯”来替代。
作为助词时“惟”的用法比“唯”稍细致些，但可以忽略。
也就是说，“唯”并不能完全取代“惟”，只是，在现代汉语中，用到只能使用“惟”的情况并不多。
[附] 列出“唯”、“惟”的一些词语，以供参考。其中，有些“惟”的词语为古用法，因此不列入考虑。
唯一、唯心、唯心史观、唯心主义、唯心论、唯我（吾）独尊、唯我论、唯利是求（视/图）、唯阿、唯妙唯肖、唯其、唯物史观、唯物主义、唯物论、唯物辩证法、唯所欲为、惟命是从（听）、唯美主义、唯理论、唯喏（诺）、唯唯、唯唯否否、唯唯诺诺、唯复、唯然、唯独、唯谨、唯识
惟一、惟力是视、惟大梁、惟口起羞、惟日不足、惟日为岁、惟兮、惟正之供、惟有、惟那木、惟肖、惟我独尊、惟利是求（图/命/视/趋）、惟谷、惟良、惟妙惟肖、惟其、惟所欲为、惟命、惟命是从（听）、惟念、惟垣、惟城、惟思、惟度、惟屏、惟恐、惟真、惟桑、惟惟、惟新、惟尘、惟精惟一、惟宁、惟翰、惟独、惟旧、惟藩、惟谨
另：
http://www.pep.com.cn/200503/ca665518.htm参考资料：
http://default.blogdriver.com/default/1111766.html本回答被提问者和网友采纳