C-V测量三种测量技术

Question

如题所述

Answer 1

半导体C-V测试技术主要包括三种，分别是交流阻抗电容计、准静态电容测量以及射频技术。

首先，交流阻抗电容计通过自动平衡电桥原理工作，频率范围一般在1kHz到10MHz之间。如图1所示，它通过施加交流电压在高电流输出端，同时测量流过器件的电流和电压降，利用锁相方式计算出阻抗的幅值和相位角，从而得到基本的交流阻抗参数，如并联电容、串联电阻等。耗散因子是衡量C-V测量质量的重要指标。

其次，准静态电容测量依赖于电流和电荷的关系，通常在1~10Hz的低频范围内进行，使用两台数字源表（SMU）通过"斜率"方法计算电容，适合测量较小的电容值，如100~400pF范围内的电容，斜率在0.1~1V/S之间。

最后，射频技术利用矢量网络分析仪测量器件的散射参数（S参数），通过入射波的反射和传输系数来评估传输线的电容，这种方法适用于高频和复杂的电路分析。