火力发电厂烟气超洁净排放设施的原理是利用多级净化系统对烟气进行处理，将烟气中的颗粒物、二氧化硫、氮氧化物等有害物质去除，达到超低排放的目的。
具体来说，烟气超洁净排放设施通常包括以下几个部分：
烟气预处理：烟气从锅炉排出后，首先经过除尘器进行初步过滤，去除大部分颗粒物。
脱硫脱硝：烟气接着进入脱硫脱硝设施，通过喷淋吸收剂将二氧化硫和氮氧化物等有害物质吸收并转化成无害物质，达到脱硫脱硝的效果。
预热器：烟气从脱硫脱硝设施出来后，进入预热器进行预热，以提高脱硝催化剂的反应效率。
SCR反应器：经过预热的烟气进入SCR反应器，与催化剂反应，将氮氧化物转化为氮气和水，达到脱硝的效果。
后处理：最后，烟气经过脱硝处理后，还需进行终级过滤，将微小颗粒物去除，以达到超洁净排放的标准。
通过这样一系列的处理，火力发电厂烟气超洁净排放设施能够将烟气中的有害物质净化，达到环保排放的要求。