如何解除rf电源的自我保护

Question

如题所述

Answer 1

1. 电路不匹配或反射功率过大是常见问题，可通过调整匹配器解决。
2. 将匹配器设置为手动模式，通过调节电容位置降低反射功率。
3. 若调整后反射功率仍高，说明腔体阻抗与匹配器范围不匹配，需联系供应商调整内部电感电容。
4. 不建议解除RF电源的自我保护功能，以免反射功率损害电源。
5. 解除进口电源保护较为困难，需找到反射功率检测电路并断开。
6. 如有任何问题，欢迎随时与我们讨论。