光刻机有国产的吗？

Question

如题所述

Answer 1

全球范围内，能够生产光刻机的国家包括中国、日本和荷兰。在这些国家中，日本尼康和佳能公司曾占据行业领先地位，但后来被荷兰的ASML公司超越，日本的光刻机产业因此受到影响。中国也具备生产光刻机的能力，但其技术水平尚未达到顶尖水平。目前，荷兰ASML几乎独占了全球高端光刻机市场，尤其是EUV光刻机领域，这种光刻机成本高昂，没有竞争对手能够与之抗衡，ASML因此能够稳定地向主要客户供货。
光刻机根据操作便捷性通常分为三个类别：手动、半自动和全自动。
1. 手动光刻机：其对准调节方式是通过手动调节旋钮来改变X轴、Y轴和θ角度，因此对准精度相对较低。
2. 半自动光刻机：其对准可以通过电动轴根据CCD进行定位调谐。
3. 全自动光刻机：从基板的上载下载、曝光时长到循环过程均由程序控制，主要满足工厂对处理量的高要求。