质量流量计
1什么是质量流量计：
质量流量计，英文Mass Flow Meter（简称MFM），用来快速、精确测量过程气体流量大小的精密传感器。这里讲的质量流量计主要应用于低压、小流量的单一或混合气体，低压一般在3Mpa；流量范围一般为：0.1sccm-5000slpm；单一气体如常见的空气、氦气、氩气等，要求相对干燥、纯净；混合气体则需明确气体种类和比例。
2质量流量计可获得哪些参数：
易度质量流量计可精确获得气体的实时温度、压力、工况流量、标况流量和累计流量五大参数。
3质量流量计的单位：
一般为：SLPM（标况下升/分钟）和SCCM(标况下毫升/分钟），均为标况下的体积流量单位，易度标况定义为
4质量流量计的构成：
易度层流质量流量计主要由层流元件、压差传感器、压力传感器、温度传感器、电路设计、软件算法六部分组成。
5层流压差式质量流量计的工作原理：
层流压差原理，基于哈根泊肃叶定律设计的
在温度、管径等参数一定的情况下，气体是层流状态时，通过获取层流元件两端的压差信号，计算出体积流量，然后通过温度、压力等参数的修正，获得标准体积流量。
质量流量计结构示意图：
6质量流量计的通讯：
易度质量流量计可通过RS485、profibus等数字信号，0-5V 、4-20mA模拟信号或触摸式显示屏面板来进行介质切换、标况定义更改、参数显示等操作。
质量流量控制器
1什么是质量流量控制器：
质量流量控制器，英文Mass Flow Controller（简称MFC），用来快速、精确、稳定控制过程气体的流量大小，是高端自动化设备中的气路控制核心部件。质量流量控制器主要应用于控制低压、小流量的单一或混合气体，低压一般在3Mpa；流量范围一般为：0.1sccm-5000slpm；单一气体如常见的空气、氦气、氩气等，要求相对干燥、纯净；混合气体则需明确气体种类和比例。
2质量流量控制器可控制哪些参数：
易度质量流量控制器可根据客户工艺要求，控制气体流量大小，该流量是标况下的体积流量，同时也可获得气体的实时温度、压力、工况流量、瞬时流量等关键参数。
3质量流量控制器的单位：
一般为：SLPM（标况下升/分钟）和SCCM(标况下毫升/分钟），均为标况下的体积流量单位，易度标况定义为
4质量流量控制器的构成：
易度层流质量流量控制器主要由层流元件、压力传感器、压差传感器、温度传感器、精密比例调节阀、电路设计和软件算法七部分组成。
5质量流量控制器的工作原理：
易度层流质量流量控制器，内置压力和温度传感器，能充分补偿因温度和压力引起的体积流量和质量流量间的差异，并根据作为电信号发送的设定流量通过精密电磁比例调节阀自动控制气体流量，从而提供更加准确和稳定的流量测量和控制。
质量流量控制器结构示意图：
6质量流量控制器的通讯：
易度质量流量控制器可通过RS485、profibus等数字信号，0-5V 、4-20mA模拟信号或触摸式显示屏面板来进行流量设定、介质切换、标况定义更改、参数显示等操作。