扫描电镜的分辨率受哪些因素影响？用不同的信号成像时，其分辨率有何不同

Question

如题所述

Answer 1

扫描电镜的分辨率受到多个因素的影响。首先，入射电子束束斑直径是决定分辨率的极限因素，场发射电子枪可以使束斑直径小于3nm。其次，入射电子束在样品中的扩展效应也会影响分辨率，扩散程度取决于入射束电子能量的高低和样品原子序数的大小。另外，调制信号的分辨率与信号本身的能量和信号取样的区域范围相关，例如二次电子的分辨率较高。
在各种信号成像时，分辨率也有所不同。二次电子和俄歇电子的分辨率最高，背散射电子次之，吸收电子和特征X射线的分辨率最低。这主要是因为不同信号的能量和散射程度不同，导致成像效果和分辨率有所差异。
综上所述，扫描电镜的分辨率受到多个因素的影响，包括入射电子束束斑直径、入射电子束在样品中的扩展效应以及调制信号的能量和取样范围等。同时，不同信号成像时的分辨率也有所不同，其中二次电子和俄歇电子的分辨率最高。

Answer 2

灯丝。钨灯丝分辨率低，场发射枪分辨率高。冷场发射最高。 工作距离。工作距离小，分辨率高，反之亦然。 试片。导电好，分辨率高。反之亦然。本回答被网友采纳

Answer 3

高质量的图像应满足三个条件：首先是分辨率高，显微结构清晰可辨；第二是信噪比好,没有明显的雪花状噪声;第三是衬度适中,图像中无论白区还是黑区细节都能看清楚。可以从这几方面解决：
1、入射束在样品中的扩展效应
2、分辨率(入射电子束斑直径)
3、信噪比
4、杂散电磁场及机械振动
5、样品的自然衬度
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