现代的高端光刻机,哪些国家才能制造?

如题所述

在现代光刻机技术领域,仅有少数国家具备制造高端光刻机的能力。其中,荷兰和日本是两个主要的制造国。
荷兰的ASML公司是全球光刻机行业的领头羊,总部位于荷兰的埃因霍芬。作为全球领先的半导体设备供应商之一,ASML向全球复杂集成电路生产企业提供顶尖的光刻机及相关服务。公司的股票在阿姆斯特丹和纽约证券交易所同时上市。
ASML的产品线包括TWINSCAN系列,这是目前市场上精度最高、生产效率最高且应用最广泛的高端光刻机型。全球绝大多数半导体生产商,如英特尔、三星、海力士、台积电和中芯国际等,都依赖ASML的TWINSCAN系列光刻机来进行生产。
ASML的产品系列分为PAS系列、AT系列、XT系列和NXT系列。PAS系列已经停产,而AT系列作为老型号,大部分也已经停产。目前市场上主流的机型是XT系列和NXT系列,它们采用ArF和KrF激光光源。XT系列是较为成熟的机型,提供干式和沉浸式两种选项,而NXT系列则是ASML目前力推的高端机型,均为沉浸式。
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