世界光刻机现在多少纳米

Question

如题所述

Answer 1

5纳米。根据查询光明网显示，截止时间2023年10月2日，世界光刻机釆用finfet工艺，能做到5nm以下。光刻机又叫掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，是制造芯片的核心装备。