这款DUV光刻机在资金断裂后被抵押给武汉农村商业银行股份有限公司东西湖支行,抵押价格高达5.82亿元人民币,相较于ASML的EUV光刻机动辄10亿人民币的天价,DUV光刻机的价格便宜约四成,相当于EUV价格的60%左右。尽管如此,它依然是半导体制造中的高端设备。
值得注意的是,TWINSCAN NXT:1980Di官方标称的分辨率达到了38nm以内,实际工艺甚至可以达到10nm,这足以证明其技术先进性。台积电的首个7nm工艺生产线也依赖于类似的DUV光刻技术。由此可见,即便价格较低,DUV光刻机在半导体行业的地位依然十分重要,其技术实力不容小觑。