多晶硅生产工艺

我想知道多晶硅如何生产的。。。需要工业用水吗?比如冷却时要用的,用量大不大?
水的作用是冷却还是化学反应??呵呵,如果是冷却的,可以循环利用吗? 我的意思是,在我们这有个硅基地正在建设,我想去开个工业用水厂。

多晶硅的生产工艺主要由高纯石英(经高温焦碳还原)→工业硅(酸洗)→硅粉(加HCL)→SiHCL3(经过粗馏精馏)→高纯SiHCL3(和H2反应CVD工艺)→高纯多晶硅。需要用水的,很多。
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第1个回答  2009-09-09
多晶硅生产过程中 硅烷是不能见水的,水是用来冷却和工业用,会大量的用哦,当然是循环的呀,不然谁家钱多都用一次性的水呀
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