光刻机是用来做cpu与内存颗粒的么

Question

如题所述

Answer 1

光刻机的作用是蚀刻芯片的功能及线路，当然也包括了制造处理器这样的大规模集成电路或者内存颗粒、闪存颗粒等等。

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光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。
可以分为两种，分别是模板与图样大小一致的contact aligner，曝光时模板紧贴芯片；以及利用类似投影机原理的stepper，获得比模板更小的曝光图样。