哪些传感器可选作小位移传感器,为什么?

Question

如题所述

Answer 1

霍尔元件{线性}，光栅尺，旋转编码器可选作小位移传感器。

加拿大FISO的光纤微应变 、位移传感器，可以测量极小的变化量。它采取的是法布里珀罗腔干涉原理，因此可以做到0.002 mm的分辨率。

高精度线性位移传感器，有海德汉，法格的光栅尺可供选择。可以小于1微米的位置控制精度，用于液压油缸精密定位可以选用直线位移磁尺，有MTS， Balluf 巴鲁夫的产品可以选择。一般闭环控制精度可以达到0.01mm。

主要特点

传感器的特点包括：微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化，它不仅促进了传统产业的改造和更新换代，而且还可能建立新型工业，从而成为21世纪新的经济增长点。微型化是建立在微电子机械系统（MEMS）技术基础上的，已成功应用在硅器件上做成硅压力传感器。