超纯水管道抛光洁净度标准

Question

如题所述

Answer 1

ASTMB117-15a标准，ISO11140标准。
1、美国ASTM标准：ASTMB117-15a标准规定了用于半导体工业的超纯水抛光管道的要求和测试方法。其中，管道内壁的抛光度应达到0.2微米以下，颗粒物的浓度应小于10^6个/mL，微生物的数量应小于1CFU/mL。
2、欧洲ISO标准：ISO11140标准规定了用于半导体工业的超纯水抛光管道的要求和测试方法。其中，管道内壁的抛光度应达到0.4微米以下，颗粒物的浓度应小于10^4个/mL，微生物的数量应小于1CFU/mL。