半导体传感器的气敏传感器

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第1个回答 2016-05-28

（1）敏感材料的功函数<吸附分子的电子亲和力→吸附分子从材料中夺取电子（负离子吸附、氧化型气体），敏感材料的载流子减少-R↑，如O2　、NO等。
（2）敏感材料的功函数>吸附分子的离解能→吸附分子向材料释放电子（正离子吸附、还原型气体），敏感材料的载流子增加-R↓，如H2、CO等。
（3）为提高气体灵敏度，一般需加热以加快氧化还原反应（到200～450℃）,同时加热还能使附着在测控部分上的油雾、尘埃烧掉。（1）电阻型半导体气敏传感器
由三部分组成：敏感元件、加热器和外壳烧结型、薄膜型、厚膜型
（2）非电阻型半导体传感器
MOS二极管气敏器件
MOS场效应晶体管气敏器件

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