真空清洗机工作原理是在真空条件下工作的，因为在空气当中清洗的话，会产生气体，而这种气体会使超声波震动离子波动衰弱，这样清晰精密仪器的时候
超声波清洗效果也大大降低了。如果想要超声波更好的工作的话，就需要在真空的条件下进行脱气清洗。真空清洗机的清洗环境使密闭的，在工作条件下清洗槽内的空气会被抽干净，经过抽气的清洗剂会沿着一条缝隙进入清洗槽，超声波启动的时候，清洗剂就能充分的对部件进行清洗。清洗到一定程度之后，外界空气就会进入槽内，清洗工作完成。
真空技术在清洗中的主要作用是：
脱出清洗剂中的空气，减少超声波的衰减。 为提高清洗效果，清洗机中一般都采用超声波技术，利用超声波振子每秒钟几万次频率的振动，发出超过人耳可听见的10万倍以上的
声压。在清洗的情况下超声波在液体中呈放舍状，使清洗液体流动而产生大量的真空气泡，这种现象就是空穴作用。
排除工件表面和孔隙中的空气，提高清洗效果。在传统清洗中，清洗效果不理想常常是因为盲孔、粗糙表面和细小缝隙中的空气不能排出，影响清洗剂的浸润，产生清洗
盲区。应用真空技术后，可使部件表面、缝隙和盲孔内的空气全部排出，使清洗剂完全浸入工件的每个部位，使工件的各个部位都达到最好的清洗效果。