半导体runcard干什么用的

Question

如题所述

Answer 1

记录工序参数、指导操作流程。
1、记录工序参数：Runcard记录了每个工序中的设备参数、温度、时间等操作要求，供操作员按照规范进行操作，以确保产品质量的一致性。
2、指导操作流程：Runcard明确了设备的操作步骤和流程，从加载物料到设备清洁等环节，以指导操作员按照正确的顺序和方法进行操作。