法国的无政府共产主义者Joseph Déjacque首先于1857年创造了自由意志主义一词。许多左翼的无政府主义者依然使用这一词自称（比如在一些非英语系国家如法国、意大利，“Libertarian”一词与“无政府主义”是同义字），不过在美国这一称呼与社会主义之间并没有任何关联。
相反的，自由意志主义被视为古典自由主义的一种形式，在今天这两个称呼往往是可以互换的。这种观念最初被简单的称为“自由主义”，是从启蒙时代在欧洲和美洲产生的一种思想，包括了政治哲学家如约翰·洛克和孟德斯鸠，以及道德和经济学家亚当·斯密。到了18世纪晚期，这些观念迅速的伴随着工业革命遍布西方世界。
洛克经由自然权利的观念，发展了一种社会契约的形式，称为“在被统治者的同意下统治”。立法机关的角色应该是保护人们在公民权利法律中的自然权利，洛克在自然权利的观念上建立了一个财产权的劳动理论，每个个人在自然状态下都“拥有”他自己，并凭借着他所进行的劳动，来获得他应得的报酬。从这个自然权利的观念中，便浮现出一种根基于个人财产和贸易，以金钱作为交易媒介的经济型态。
大约在同一时期，法国哲学家孟德斯鸠发展出了一种区分“拥有主权”和“拥有行政权力”的观念，主张分隔政治权力，以防止政府扩大行政权力而牺牲了个人的权利。他并承认这种权力分隔在共和政体以及受限制的君主政体里都能达成，虽然他本人比较倾向于后者。不过，他的观念也影响了美国的开国者，并在后来从美国开始，为大多数政府所采用，包括共和政体与君主立宪政体。
亚当·斯密的道德哲学强调政府的不干涉政策（non-intervention），好让个人能自由发挥任何“上帝赋予他们的天份”，而不会被政府随意阻挠。他的经济学说主张，对于任何人在任何事业上（意指反对重商主义和垄断）发挥最佳天份的妨碍，都会造成劳动行为效率的降低。亚当·斯密指出“出自自愿的、根据可靠情报所进行的交易总是能让双方都获利”，而“自愿”和“可靠情报”所指的便是没有诈欺行为的交易。
在美国独立运动中，美国的开国者们将保护人们的自由视为政府存在的主要目的。托玛斯·杰弗逊便说：“依据我们自己的意愿，并且在不侵犯别人同等权利的限制下，正当的自由行为不该受到任何阻碍。”他也曾说过一句名言：“最好的政府，便是管的最少的政府。”
拉法耶特侯爵（Marquis de Lafayette）引进了美国对于自由的观念（尽管有人认为这只是重新引进欧洲），用以设计1789年法国的人权和公民权宣言：
“自由的权利在于从事一切对他人无害的行为；因此，每一个人对其自然权利的行使，只以保证社会上其它人皆享相同权利为限制。”
约翰·斯图尔特·密尔在整理杰里米·边沁对于功利主义的见解时，描述道：“每个个人，对他的身体和意志，都拥有主权”。密尔并比较了他所谓的“多数暴政”，表示功利主义需要在政治上满足“互不侵犯的原则”，藉此使每个人都能获得最大可能的自由—只以不侵犯他人为限，于是每个人将能最大限度的追求各自的幸福。这个观点也被英国哲学家赫伯特·斯宾塞所支持，斯宾塞拥护“同等自由的法律”，主张道：“在不侵犯其它人同等自由的条件下，每个人有自由去做任何他想做的事情。”
皮埃尔-约瑟夫·普鲁东则拥护一种无政府主义式的社会契约，不属于个人与政府之间，而比较像是“一种人与人之间的协议；一种必定会产生出我们所称为社会的协议”。他的著名说法之一即为“无政府主义便是秩序”。在他对于互助论（Mutualism）的架构中，他宣称劳动是唯一一种合法的财产形式，主张“财产本身便是自由的”，排斥个人或团体对于财产的所有权，并且称“拥有财产是一种偷窃”。不过，他之后抛弃了他对于财产的排斥观念，承认个人财产“能被用以平衡国家的权力，并以此保障个人的自由。”
到了20世纪初期，世界上许多主流的政党开始脱离以上的观念，美国的进步主义和欧洲众多的社会主义运动，反而聚焦于否定自由权和自由市场，以此对权利进行更积极的断言。他们主张政府所做的不该只是“保护人们的权利”，更主张利用政府的权力以提升人们更多的正面权利。这种改变可以富兰克林·德拉诺·罗斯福所提出的四大自由为例，其中“言论自由”和“信仰自由”两条为限制政府侵犯个人的消极自由，但其它两条却是积极自由—第三条“免于贫困的自由”（意即，政府对国内和国外施以援助）和第四条“免于恐惧的自由”（意即，施行国际主义的政策以强加他国遵守和平）。
于是在英语国家，“自由主义”一词所代表的意义从1920年代和1930年代开始逐渐与进步主义政策画上等号，但许多人仍然支持原先自由主义的涵义，这些主张小政府的流派开始自称为“古典自由主义”以区分他们的立场。
在20世纪初期，德国的纳粹主义和俄罗斯的共产主义的崛起成为相当不同的社会运动，而后者则与西方国家的进步主义运动较为相似，也因此获得许多进步主义者的同情。这时在中欧有一派经济学者自称为奥地利经济学派，开始挑战这些不同形式的极权主义，主张这些集权主义者都以集体主义支撑他们的政策，并以西方传统的观点认定任何形式的集体主义都绝对是与自由对立的。这些学者包括路德维希·冯·米塞斯和海耶克，以及主张“以互不侵犯原则作为自由意志主义基石”的瓦特·布拉克，奥地利经济学派对经济学和自由意志主义的原则都有极大影响。到了20世纪下半叶，早期是与无政府主义有关的“自由意志主义”一词，现在则转变为称呼那些与古典自由主义主张相似的人了。
