扫描电子显微镜样品的化学制备过程包括一系列细致的步骤:
首先，对生物材料进行清洗，以去除表面的异物。这些异物可能包括血液、细胞碎片、消化道残留物、细菌、淋巴液和粘液等。常用生理盐水或等渗缓冲液清洗，有时也会采用5%碳酸钠溶液或酶消化法进行处理，确保观察部位的清晰可见。
接着，进行化学固定，常用醛类如戊二醛和多聚甲醛，有时也会采用四氧化锇进行双固定或单固定。四氧化锇固定不仅能保持组织细胞结构的完整性，还能增加材料的导电性和二次电子产量，从而提升扫描电子显微镜图像的质量，这对于高分辨率成像至关重要。
干燥阶段通常采用临界点干燥技术，通过控制温度和压力，避免水分子在干燥过程中产生表面张力导致的样品变形。对于含水生物材料，先用乙醇或丙酮脱水，然后用醋酸戊酯等中间介质进行置换，最后在临界点干燥器中用二氧化碳、氟利昂或一氧化二氮进行置换，以完成干燥过程。
最后，为了增强导电性和提升图像质量，干燥后的样品会粘合在金属样品台上，并在真空蒸发器中喷镀一层50至300埃厚的金属膜，如金或镍。如果使用离子溅射镀膜机，可以获得更均匀、细小颗粒的金属镀层，进一步优化扫描电子显微镜的成像效果。
扫描电子显微镜样品制备技术（preparationof specimens for scanning electron microscopy）：扫描电子显微镜以观察样品的表面形态为主，因此扫描电子显微镜样品的制备，必须满足以下要求：①保持完好的组织和细胞形态；③充分暴露要观察的部位；③良好的导电性和较高的二次电子产额；④保持充分干燥的状态。