到50年代,由于吹氧炼钢和高炉鼓风工艺的推广应用以及氮肥工业的迅速发展,空气分离设备向大型化发展,并应用了近代的科研成果,如采用透平压缩机、透平膨胀机、板翅式换热器、微型计算机和分子筛吸附器等设备之后,空气分离设备不断得到改进和完善,设备中的空气压力从高压(20兆帕)降到低压(小于1兆帕),单位产品的电耗也逐渐下降(每立方米氧的电耗从1.5降至0.6千瓦·小时)。现代空气分离设备能生产各种容量、不同纯度的气态或液态产品,也能制造超高纯度的氧和氮(如含氧99.998%和含氮99.9995%)空气分离设备还能根据用户的需要,通过电子计算机的控制,随时增减产品的数量,达到经济用氧的目的。到80年代,大型空气分离设备的氧气生产能力已达到70000米(/时;空气压力下降到0.36兆帕;连续运转周期可达2年以上。