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常见的有变截距型,便面积型,变介电常数型。
但是用于位移测量的通常是采用变截距原理的。也就是用被测物体(需要具有导电性)作为电容的一个极板,用传感器作为电容的另外一个极板。会影响这个电容电容值的因素就是距离,正对面积和间隙介质。如果想用电容传感器测位移,就要确保后两者不会变化。
以德国米铱capaNCDT为例,可以测量导体材料和非导体材料(测量非导体材料时,采用变介电常数原理)。绝对误差可以达到0.1微米,分辨率达到0.0375纳米。但是要求不能有油污和水等影响因素(恒定的油污和水也是可以补偿的,不恒定的就会有问题),否则会影响电容的介电常数。
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