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等离子体刻蚀机中的射频电源有辐射吗
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第1个回答 2017-09-15
利用ICP产生高密度等离子体，等离子体中的活性基团或者离子与所需刻蚀的材料发生化学反应，并去除;一般在刻蚀的过程中同时也伴随着物理轰击，并把相应的键能打开，从而加速反应的进程。
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谁知道
等离子
去胶
机的
原理?
答：
回答：等离子去胶法,去胶气体为氧气。其工作原理是将硅片置于真空反应系统中,通入少量氧气,加1500 V高压,由高频信号发生器产生高频信号,使石英管内形成强的电磁场,使氧气电离,形成氧离子、活化的氧原子、氧分子和电子等混合物
的等离子体的
辉光柱。活化氧(活泼的原子态氧)可以迅速地将聚酰亚胺膜氧化成为可...
等离子
清洗
机的
清洗原理
答：
等离子清洗
机的
清洗原理是在真空腔体里，通过
射频电源
在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序
的等离子体
，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。在这种情况下，等离子处理可以产生以下效果：1、灰化表面有机层 污染物在真空和瞬时高温下的部分蒸发，污染物被高能离子粉碎并被真空带走。紫外
辐射
破...
什么是
射频电源
?
答：
射频电源 射频电源是
等离子体
配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年末期在我国新兴的高科技领域,应用于射频溅射,PECVD 化学气相沉积,反应离子
刻蚀
等设备中.现代
的射频电源有
了长足发展，由八十年代的电子管电源一步步的发展成现在的晶体管射频电源，功率由瓦、百瓦、千瓦、到兆...
射频电源
是用来干什么的?可以用来加热吗?
答：
射频电源
(RF generator)是用来产生射频电功率的电源，可以用来加热。射频电源与是
等离子体
工业设备上的驱动源，主要用在镀膜、等离子体清洗、CO2激光器等设备上。世界上主流品牌是AE、MKS、COMDEL等；功率有600W 1000W 2000W 3000W 5000W；射频电源替代高频
电源的
优势是灵活的改变匹配角改变放电电压。一套...
谁能提供一些感应耦合
等离子体刻蚀中
上下·
射频的
工作原理。最好也...
答：
射频
导纳开关对所探材料的不同，无线电波的频率也随之改变。射频导纳开关的探头和容器壁构成了一个间距固定的电容两级，探头的绝缘材料和周围的空气提供绝缘介质。空气被其它介质所取代时，探头与容器壁所构成的电容量将改变，这一变化将引起作用于射频导纳开关探头的无线电波的变化。这一变化被射频导纳开关...
等离子
清洗是什么?
答：
等离子
清洗设备的原理是在真空状态下，压力越来越小，分子间间距越来越大，分子间力越来越小，利用
射频电源
产生的高压交变电场将氧、氩、氢等工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的离子，然后与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，然后由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清除出去，从...
使用试管和平板时,做标记的要求和内容是什么
答：
ICP
射频电源
产生
的射频
输出到环形耦合线圈，以一定比例的混合
刻蚀
气体经耦合辉光放电，产生高密度
的等离子体
，在下电极的RF 射频作用下。这些等离子体对基片表面进行轰击，基片图形区域的半导体材料的化学键被打断，与刻蚀气体生成挥发性物质，以气体形式脱离基片，从真空管路被抽走。
等离子体刻蚀
是什么?
答：
图1显示了这种反应室的剖面示意图和重要的实验参数，它是由下列几项组成：一个真空腔体和真空系统，一个气体系统用于提供精确的气体种类和流量，
射频电源
及其调节匹配电路系统。
等离子刻蚀的
原理可以概括为以下几个步骤：● 在低压下，反应气体在射频功率的激发下，产生电离并形成
等离子体
，等离子体是由带电...
等离子
清洗
机的
应用
答：
工业中用莱钠溶液处理虽然能在一定程度上提高粘接效果,但是却改变了原有PTFE的性能。经实验证明,用
等离子体
轰击需粘接的PTFE表面后,其表面活性明显增强,与金属之间的粘接牢固可靠,满足了工艺的要求,而另一面保持原有的性能,其应用也越来越被广泛认同。3.1.3汽车行业其他方面的应用随着经济的发展,消费者对汽车的性能...
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