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等离子射频电源
什么是
射频电源
?
答:
射频电源
是
等离子
体配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年末期在我国新兴的高科技领域,应用于射频溅射,PECVD 化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中.现代的射频电源有了长足发展,由八十年代的电子管电源一步步的发展成现在的晶体管射频电源,功率由瓦、百瓦、千瓦、到兆瓦,频率有...
求
等离子射频电源
原理
答:
射频
原理电阻:阻挡电流通过的物体或物质,从而把电能转化为热能或其它形式的能量,单位:欧姆,Ω 电压:电位或电位差,单位:伏特,V 电流:单位时间内通过电路上某一确定点的电荷数,单位:安培,A 电感:线圈环绕着的东西,通常是导线,由于电磁感应的原因,线圈可产生电动势能,单位:亨利,...
射频电源
是用来干什么的?可以用来加热吗?
答:
射频电源
(RF generator)是用来产生射频电功率的电源,可以用来加热。射频电源与是
等离子
体工业设备上的驱动源,主要用在镀膜、等离子体清洗、CO2激光器等设备上。世界上主流品牌是AE、MKS、COMDEL等;功率有600W 1000W 2000W 3000W 5000W;射频电源替代高频电源的优势是灵活的改变匹配角改变放电电压。一套...
微波电源和
等离子射频电源
有什么区别
答:
频率不一样,微波一般都上到GHz,而一般的
等离子射频电源
才是MHz,其实微波电源也能产生等离子,原理接近
射频电源
原理详解
答:
射频电源
是可以产生固定频率的正弦波电压,频率在射频范围内、具有一定功率的电源。已广泛应用于半导体工艺设备,LED与太阳能光伏产业,科学实验中的
等离子
体发生,射频感应加热,医疗美容,常压等离子体消毒清洗等。射频又称无线电频率、无线射频、高周波,为在3kHz至300GHz这个范围内的震荡频率,这个频率相当...
射频电源
反射功率过大怎么办
答:
1、首先检查RF
射频电源
和射频自动匹配器以及
等离子
体腔体之间的射频连接接头是否接紧;或更换射频同轴电缆和接头检查是否坏损;2、其次初次使用可能是等离子体腔体的阻抗不在射频自动匹配器的阻抗范围内,可以先将射频自动匹配器的工作模式设定为手动匹配模式进行匹配,如果还是有同样的问题建议联系商家;3、...
等离子
清洗机的清洗原理
答:
等离子
清洗机的清洗原理是在真空腔体里,通过
射频电源
在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清洗产品表面,以达到清洗目的。在这种情况下,等离子处理可以产生以下效果:1、灰化表面有机层 污染物在真空和瞬时高温下的部分蒸发,污染物被高能离子粉碎并被真空带走。紫外辐射...
直流、交流和
射频电源
的区别
答:
直流就是电压(电流)永远在“正”象限内,交流是“正”“负”交替,所以交流都是有一定的频率的,例如工频、高频,那么
射频
就是非常非常高的频率。———我尽量用非专业的词汇来讲了,希望你能听懂。
电感耦合
等离子
体激发源
答:
激发源即ICP光源,是发射光谱仪中一个极为重要的组成部分,它的作用是给分析试样提供蒸发、原子化或离子化激发的能量,使其发射出特征谱线。电感耦合
等离子
体装置由
射频
发生器和等离子体炬管组成。图8.4 ICP光谱仪结构图 8.2.1.1 射频发生器 射频发生器(也称高频发生器)是ICP的高频供电装置,为...
等离子
清洗机清洗原理
答:
等离子
清洗机清洗原理:等离子体是物质的一种存在状态,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气中电离层中的物质。在真空腔体里,通过
射频电源
在一定的压力情况下会产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清洗产品表面,以达到清洗目的。
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